샘플 전처리 과정 불필요 (No sample preparation)

작은 영역(수 십 ㎛)의 경우 수 초에 불과한 빠른 측정 시간

H, Be, Li C, N, O, Na, Mg 등의 경원소를 포함하는 폭넓은 원소 측정 범위

원소 Mapping을 통하여 시료의 원소 분포를 한눈에 확인 가능

금속, 비금속 관계없이 다양한 형태와 종류의 시료 분석이 모두 가능

(금속, 반도체, 유리, 생물조직, 플라스틱, 토양, 식물, 전자재료를 포함한 다양한 시료와 구조물질에 적용 가능)

한 지점을 여러 번 조사하여 깊이에 따른 원소의 변화를 확인 가능 (Laser Ablation)